Jauge de module Micro ATM série MKS Granville Phillips 390, 2,75 po. CF à 2 points de consigne, affichage numérique, double filaments de jauge d'ions Iridium revêtus d'Yttria,
Mesure de pression de 1x10-9 Torr. Pour moniteur de qualité du vide (VQM) 830 ou 835. PN : 390802-2-YG-T Ce module micro-ion à pression totale 390802 fonctionne avec la jauge de spectromètre de masse de puissance MKS Granville Phillips (VQM) 830 ou 835. VQM.
Le module MKS Granville-Phillips Micro-Ion ATM combine la technologie éprouvée de jauge d'ionisation Micro-Ion avec un capteur de perte de chaleur Conductron miniature et deux capteurs piézo résistifs pour fournir une mesure de pression précise et continue du vide poussé à l'atmosphère. Grâce à ses capteurs à membrane, ce produit est capable de fournir une pression absolue précise jusqu'à l'atmosphère ainsi qu'une indication précise de la pression différentielle de la chambre à vide par rapport à la pression ambiante. La conception unique du capteur élimine les effets thermiques qui peuvent influencer les performances du capteur de perte de chaleur à des pressions plus élevées. Ce petit module combine les quatre capteurs et l'électronique de contrôle dans une conception modulaire compacte, réduisant le nombre de jauges requises sur une chambre et minimisant l'espace requis. La mesure de pression sur toute la plage est émise sous la forme d'un signal analogique unique ou disponible via des interfaces numériques série RS-485 ou DeviceNet en option. Les versions RS-485 et DeviceNet ont jusqu'à trois relais de point de consigne en option pouvant être configurés pour le contrôle de processus, avec la possibilité d'affecter les relais à n'importe quelle pression sur la plage de pression de vide ou à une valeur de pression différentielle spécifique.
LES AVANTAGES COMPRENNENT :
•Mesure continue de la pression du vide poussé 1 x 10-9 à l'atmosphère.
• Mesure de précision de la pression différentielle à l'atmosphère.
• Élimine le besoin d'interrupteurs atmosphériques discrets.
• Élimine le besoin de trois capteurs séparés.
• Les filaments à double jauge d'ionisation augmentent la disponibilité de l'équipement.
• Automatisation de l'activation et de la désactivation de la jauge d'ionisation.
• Relais de point de consigne en option pour le contrôle du processus.
• Assemblage de jauge remplaçable sur site.
• Sortie analogique, RS-485 ou DeviceNet disponible.
• Affichage LCD graphique en option.
Les vacuomètres modulaires sont une solution idéale pour les applications qui n'ont pas besoin d'affichages et de commandes sur le panneau avant. Ces modules compacts, pratiques, fiables et économiques ont l'électronique de commande montée directement sur la jauge. Le boîtier entièrement métallique offre un boîtier robuste et un haut niveau d'immunité au bruit électrique. Les modules Mini-Convectron utilisent la dernière technologie électronique pour faire fonctionner la jauge MKS Granville-Phillips®Convectron®. La jauge Convectron est devenue une norme de l'industrie. Il s'agit d'une variante unique des jauges de conductivité thermique où la mesure de la pression est basée sur le taux de perte de chaleur d'un fil de capteur. Contrairement aux thermocouples traditionnels et aux jauges Pirani qui n'utilisent que la perte de chaleur conductrice, les jauges Convectron tirent parti de la perte de chaleur due à la convection à des pressions plus élevées. Cela étend la gamme de mesures précises et reproductibles à l'atmosphère.